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杂志ISSN号
氮化铝基板薄膜金属化技术
作者姓名:
王桦
摘 要:
氮化铝陶瓷由于具有热导率高等一系列综合优势。在电力电子及功率微电子技术中具有巨大的应用潜力,目前AlN基板应用的关键是金属化技术。本文介绍了AlN薄膜金属化技术的特点及可靠性测试情况。
关 键 词:
氮化铝 陶瓷 薄膜金属化 基板
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