| 基于功率谱密度分析真空吸盘对加工KDP晶体表面的影响 |
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| 引用本文： | 陈珊珊,徐敏. 基于功率谱密度分析真空吸盘对加工KDP晶体表面的影响[J]. 激光与光电子学进展, 2011, 0(9) |
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| 作者姓名： | 陈珊珊 徐敏 |
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| 作者单位： | 复旦大学光科学与工程系; |
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| 基金项目： | 上海市引进技术的吸收与创新项目(2010CH-007)资助课题 |
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| 摘 要： | 由于KDP(KH2PO4)晶体硬度低的特性,在利用单点金刚石切削技术对其进行加工的过程中,所使用的真空吸盘夹具会在其加工表面产生周期性波纹。周期性波纹在强激光非线性效应的作用下,不但会严重影响输出光束的质量,甚至还会破坏光学元件。因此,利用功率谱密度检测KDP晶体的加工表面,分析误差源,并指导加工工艺的改进。最后得出结论:在利用单点金刚石切削技术加工KDP晶体时,应根据不同的加工方式选择不同形状的真空吸槽作为夹具,尽量避免在垂直切削方向上使用真空吸槽吸附晶体,以减小吸槽的吸附力对晶体加工表面的影响。
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| 关 键 词： | 光学制造 KDP晶体 真空吸盘 功率谱密度 表面波纹度 |
Analysis on Influence of Vacuum Chuck on Machined Surface of KDP Crystal Using Power Spectral Density |
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| Chen Shanshan Xu Min. Analysis on Influence of Vacuum Chuck on Machined Surface of KDP Crystal Using Power Spectral Density[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2011, 0(9) |
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| Authors: | Chen Shanshan Xu Min |
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| Affiliation: | Chen Shanshan Xu Min(Department of Optics Science and Engineering,Fudan University,Shanghai 200433,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | optical fabrication KDP crystal vacuum chuck power spectral density surface waviness |
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