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多晶硅薄膜晶体管寻址的全色液晶显示器
作者姓名:
魏荣根 钟克强
摘 要:
用激光诱导非晶硅结晶,以450℃的最高加工温度制成了多晶硅薄膜晶体管。薄膜晶体管具有迁移率高(50cm~2/V·s)阈值电压低(2V)、关断电流低(10~(-12)A)和可靠性高的特性。同时也介绍了用这种多晶硅薄膜晶体管寻址的3.5英寸的全色液晶显示器。
关 键 词:
薄膜晶体管 液晶显示器 多晶硅
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