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α-Al2O3基片(0001)表面及其对ZnO吸附位置研究
引用本文:杨春,李言荣,陶佰万,刘兴钊,张鹰,刘永华. α-Al2O3基片(0001)表面及其对ZnO吸附位置研究[J]. 真空科学与技术学报, 2004, 24(1)
作者姓名:杨春  李言荣  陶佰万  刘兴钊  张鹰  刘永华
作者单位:1. 电子科技大学微电子与固体电子学院,四川成都,610054;四川师范大学数学与软件科学学院,四川成都,610068
2. 电子科技大学微电子与固体电子学院,四川成都,610054
3. 中国工程物理研究院化工材料研究所,四川绵阳,621000
基金项目:国家重点基础研究发展计划(973计划),四川省应用基础研究计划,四川省教育厅资助项目
摘    要:建立了一种2×2α-Al2O3 (0001)基片表面吸附ZnO模型,在周期边界条件下的k空间中,采用基于密度泛函理论的局域密度近似平面波超软赝势法,对α-Al2O3 (0001)基片表面结构及其ZnO分子在表面最初吸附生长位置进行了计算研究.由于较大的表面弛豫,使得氧原子全部暴露于基片最外表面,明显地表现出O原子电子表面态;驰豫后的表面能对ZnO分子产生较强的化学吸附,表面电子结构将发生明显的变化,其表面最优吸附生长点的方位正好偏离α-Al2O3 (0001)表面氧六角对称30°;并计算了这些吸附生长点处Zn与表面O的结合能.

关 键 词:α-Al2O3 (0001) 表面 吸附生长 ZnO

Theoretical Study of Adsorption Sites of ZnO on α-Al2O3 (0001) Surface
Yang Chun ,,Li Yanrong ,Tao Baiwan ,Liu Xingzhao ,Zhang Ying and Liu Yonghua. Theoretical Study of Adsorption Sites of ZnO on α-Al2O3 (0001) Surface[J]. JOurnal of Vacuum Science and Technology, 2004, 24(1)
Authors:Yang Chun     Li Yanrong   Tao Baiwan   Liu Xingzhao   Zhang Ying   Liu Yonghua
Affiliation:Yang Chun *1,2,Li Yanrong 1,Tao Baiwan 1,Liu Xingzhao 1,Zhang Ying 1 and Liu Yonghua 3 1.Institute of Microelectronics and Solid State Electronics,UESTC,Chengdu Sichuan,610054,China, 2.Institute of Mathematics and Software Science,Sichuan Normal University,Chengdu Sichuan,610068,China, 3.Institute of Chemical Materials,China Academy of Engineering Physics,Mianyang Sichuan,621000,China
Abstract:
Keywords:
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