在流动NH_3中催化剂对硅粉氮化的影响

本文研究了在流动NH_3中催化剂对硅粉氮化率、产物相组成的影响。流动NH_3经催化剂后已100％的分解了。未经催化剂的流动NH_3甚至在温度高达1380℃时分解率还只有88％。将上述两种气氛相比,前一种气氛中氨原子N的浓度比后一种气氛中的要高得多。所以,用经催化剂的流动NH_3作氮化气氛和未经催化剂的流动NH_3作氮化气氛相比,硅粉的起始氮化温度和最终氮化温度分别降低了约150℃和40℃,氮化时间也相应缩短了。在经催化剂的流动NH_3中硅粉氮化率随着NH_3流量的增加而提高。这些结果表明:在流动NH_3中氨原子N的存在是加速硅粉氮化的主要因素。