| 基于ARM920T的薄膜厚度在线测量系统设计 |
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| 引用本文： | 李敏,何平. 基于ARM920T的薄膜厚度在线测量系统设计[J]. 自动化仪表, 2009, 30(8): 61-63 |
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| 作者姓名： | 李敏 何平 |
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| 作者单位： | 1. 哈尔滨工业大学航天学院,黑龙江,哈尔滨,150001;黑龙江八一农垦大学信息技术学院,黑龙江,大庆,163319
2. 哈尔滨工业大学航天学院,黑龙江,哈尔滨,150001 |
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| 摘 要： | 为解决薄膜生产过程中厚度在线检测问题,以提高产品质量和生产效率,对薄膜厚度在线测量系统进行了研究.基于光学三角法测量原理,以ARM920T为核心处理器、嵌入式Linux为操作系统,构造了系统的软硬件平台,并介绍了系统的硬件组成和软件设计方法.实际生产过程应用表明,该系统能够实现薄膜厚度的在线动态检测和非接触测量,具有高速度、高精度、人机界面友好等特点,在微小厚度变化量的检测领域具有广阔的应用前景.
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| 关 键 词： | 光学三角法 薄膜厚度 在线测量 ARM920T内核 嵌入式Linux |
Design of ARM920T-based Online Measuring System for Thickness of Thin Films |
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| Li Min,He Ping. Design of ARM920T-based Online Measuring System for Thickness of Thin Films[J]. Process Automation Instrumentation, 2009, 30(8): 61-63 |
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| Authors: | Li Min He Ping |
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