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| 兰宝石上外延硅工艺及其应用 | |
| 作者姓名： | 陈庆贵 史日华 姚友龙 邬华 董荣康 |
| 作者单位： | 中国科学院上海冶金研究所(陈庆贵，史日华，姚友龙，邬华)，中国科学院上海冶金研究所(董荣康) |
| 摘 要： | 本文着重于SOS材料制备及提高其性能的工艺.并用它研制成硅-兰宝石半导体压力传感器及LC4023和LC4027辐射加固的CMOS/SOS集成电路.其主要性能为国内领先,达到八十年代的国际同类产品的水平,并已用于工业部门. |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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