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单片InGaAs/InP PIN PD阵列
引用本文:杨易,施惠英.单片InGaAs/InP PIN PD阵列[J].半导体光电,1994,15(2):109-112.
作者姓名:杨易  施惠英
作者单位:中国科学院上海冶金所
摘    要:文章简要地介绍了InGaAs/InP PIN PD阵列的制作现状及其应用和发展趋势。

关 键 词:InGaAs/InP  PIN  PD  阵列  探测器

Monolithic InGaAs/InP PIN PD Array
Yang Yi,Shi Huiying,Chen Zongquan.Monolithic InGaAs/InP PIN PD Array[J].Semiconductor Optoelectronics,1994,15(2):109-112.
Authors:Yang Yi  Shi Huiying  Chen Zongquan
Abstract:A brief introduction of the current state of fabrication for an InGaAs/InP PIN PD array is presented with the prediction of future development.
Keywords:InGaAs/InP PIN PD  Structure
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