| 热处理条件对溶胶-凝胶法制备多孔TiO2薄膜微观结构的影响 |
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| 引用本文： | 杨金坚,赵高凌,韩高荣.热处理条件对溶胶-凝胶法制备多孔TiO2薄膜微观结构的影响[J].稀有金属材料与工程,2004,33(Z1):250-253. |
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| 作者姓名： | 杨金坚 赵高凌 韩高荣 |
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| 作者单位： | 浙江大学,硅材料国家重点实验室,浙江,杭州,310027 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助(50372060) |
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| 摘 要： | 以钛酸异丁酯为先驱物,乙二醇甲醚为溶剂,羟基纤维素(HPC)为添加剂,用溶胶-凝胶法制备了厚度在270 nm～420 nm的多孔TiO2薄膜.重点研究了薄膜微观形貌与热处理时间的关系,并对薄膜的截面电阻率进行了研究.在二次热处理温度550℃下处理60 min下得到多孔、厚度最大,截面电阻率最小的TiO2薄膜.
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| 关 键 词： | TiO2 多孔薄膜 PHC 乙二醇甲醚 |
| 文章编号： | 1002-185X(2004)S3-250-04 |
| 修稿时间： | 2004年5月10日 |
The Influence of Calcination on the Microstructure of Mesoporous TiO2 Films by Sol-Gel |
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| Yang Jinjian,Zhao Gaoling,Han Gaorong.The Influence of Calcination on the Microstructure of Mesoporous TiO2 Films by Sol-Gel[J].Rare Metal Materials and Engineering,2004,33(Z1):250-253. |
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| Authors: | Yang Jinjian Zhao Gaoling Han Gaorong |
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