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高分辨力光学微扫描显微热成像系统设计与实现
引用本文:高美静,金伟其,王霞,徐超,陈翼男.高分辨力光学微扫描显微热成像系统设计与实现[J].仪器仪表学报,2009,30(5).
作者姓名:高美静  金伟其  王霞  徐超  陈翼男
作者单位:1. 北京理工大学光电工程系,北京,100081;燕山大学光电子系,秦皇岛,066004
2. 北京理工大学光电工程系,北京,100081
摘    要:为提高已研制的基于非制冷焦平面探测器的显微热成像系统的空间分辨力,研究提出了一种基于光学平板旋转微扫描器的高分辨力显微热成像系统.分析了光学平板旋转微扫描的工作原理,给出了微扫描器相关的参数设计、加工容差,并与现有的非制冷显微热成像系统实现了一体化设计与加工,确定了光学微扫描显微热成像系统的技术指标.利用该系统实际采集的显微热图像与过采样处理结果表明系统整体设计的有效性,系统空间分辨力得到提高,可应用于高分辨力显微热分析.#

关 键 词:显微热成像系统  光学平板旋转微扫描  高分辨力  过采样重构

Design and implementation of optical micro-scanning thermal microscope imaging system with high resolution
Gao Meijing,Jin Weiqi,Wang Xia,Xu Chao,Chen Yinan.Design and implementation of optical micro-scanning thermal microscope imaging system with high resolution[J].Chinese Journal of Scientific Instrument,2009,30(5).
Authors:Gao Meijing  Jin Weiqi  Wang Xia  Xu Chao  Chen Yinan
Abstract:
Keywords:
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