| 磁控溅射法制备YBa_2Cu_3O_(7-x)双面超导薄膜 |
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| 引用本文： | 王小平,刘援,王霈文,冯稷,林晨光,华志强,张朝兴. 磁控溅射法制备YBa_2Cu_3O_(7-x)双面超导薄膜[J]. 稀有金属, 2000, 0(6) |
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| 作者姓名： | 王小平 刘援 王霈文 冯稷 林晨光 华志强 张朝兴 |
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| 作者单位： | 北京有色金属研究总院!北京100088(王小平，刘援，王霈文，林晨光，华志强)，香港城市大学物理及材料科学系!香港(冯稷)，信息产业部第十六研究所!合肥230043(张朝兴) |
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| 摘 要： | 采用大直径中空柱状阴极磁控溅射装置和筒形加热器制备了高质量YBa2 Cu3O7-x双面超导薄膜。使用衬底为 (0 0 1)LaAlO3和 (0 0 1)YSZ。双面超导薄膜零电阻温度TC=89～ 91K ,临界电流密度JC≥ 10 6A/cm2 (77K ,零场下 ) ,微波表面电阻RS<1mΩ(77K ,10GHz)。对不同氧氩比下制备的双面膜进行了性能的比较。当O2 ∶Ar =1∶2 .5 ,衬底温度在80 0℃时 ,制备出了高质量的双面超导薄膜。同时对双面超导薄膜进行了微结构分析。用制备的 2 5mm× 2 0mm双面膜研制成功中频滤波器 ,中心频率为 1 0 6GHz时 ,插损为 0 6 7dB。
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| 关 键 词： | 磁控溅射 双面超导薄膜 性能 微结构 |
Double-Sided YBa_2Cu_3O_(7-x) Films Deposited by Inverted Cylindrical Magnetron Sputtering |
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| Wang Xiaoping ,Liu Yuan ,Wang Peiwen ,Feng Ji ,Lin Chenguang ,Hua Zhiqiang and Zhang Chaoxing. Double-Sided YBa_2Cu_3O_(7-x) Films Deposited by Inverted Cylindrical Magnetron Sputtering[J]. Chinese Journal of Rare Metals, 2000, 0(6) |
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| Authors: | Wang Xiaoping Liu Yuan Wang Peiwen Feng Ji Lin Chenguang Hua Zhiqiang Zhang Chaoxing |
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| Affiliation: | Wang Xiaoping 1,Liu Yuan 1,Wang Peiwen 1,Feng Ji 2,Lin Chenguang 1,Hua Zhiqiang 1 and Zhang Chaoxing 3 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Magneton sputtering Double sided superconducting film Property Microstructure |
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