| MEMS气敏传感信息的动态预测补偿方法 |
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| 引用本文： | 叶廷东,程韬波,刘桂雄,周松斌.MEMS气敏传感信息的动态预测补偿方法[J].中国测试技术,2014(4). |
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| 作者姓名： | 叶廷东 程韬波 刘桂雄 周松斌 |
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| 作者单位： | 广东省自动化研究所;华南理工大学机械与汽车工程学院; |
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| 基金项目： | 中国博士后科学基金项目(2013M542157);广东省自然科学基金项目(S2012040007521);广东省科技厅资助项目(2012A090200005,2012B010100059,2012B091100246);广州市科技计划项目(2013J4100077,2013J2200062,2013J4100077) |
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| 摘 要： | 针对MEMS气敏传感器应用中存在响应滞后的问题,研究一种能减少MEMS气敏传感的响应时间、可在线计算的传感信息动态预测补偿方法,通过超前预测实现对未知事件的预判。该方法采用基于近似树更新的快速算法,对传感信息在尺度空间进行快速分解,充分有效地利用各尺度空间的信息特点,分别采用多项式预测算法和基于AR的双kalman递推并行算法对平滑层、分辨层信息进行单步预测或者多步滚动修正预测,最后进行重构实现对传感信息的动态预测。实验结果表明:该方法可使传感器的响应时间降低17.4%,且最大预测误差为0.626%。借助小波分析的低通滤波效应,可有效抑制噪声干扰,同时根据分解尺度空间的信息特点使用不同算法进行预测,可减少MEMS气敏传感器的响应时间,达到多步快速、准确预测的目的。
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| 关 键 词： | 微机电系统 气敏传感器 动态预测 响应时间 小波分析 |
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