| 高效率n-nc-Si∶H/p-c-Si异质结太阳能电池 |
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| 引用本文： | 张群芳,朱美芳,刘丰珍,周玉琴.高效率n-nc-Si∶H/p-c-Si异质结太阳能电池[J].半导体学报,2007,28(1):96-99. |
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| 作者姓名： | 张群芳 朱美芳 刘丰珍 周玉琴 |
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| 作者单位： | 中国科学院研究生院 物理科学学院,北京 100049;中国科学院研究生院 物理科学学院,北京 100049;中国科学院研究生院 物理科学学院,北京 100049;中国科学院研究生院 物理科学学院,北京 100049 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划)
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北京市属市管高等学校人才强教计划
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北京工业大学校科研和教改项目 |
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| 摘 要： | 采用热丝化学气相沉积技术(HWCVD),系统地研究了纳米晶硅层(尤其是本征缓冲层)的晶化度以及晶体硅表面氢处理时间对nc-Si∶H/c-Si异质结太阳能电池性能的影响,通过C-V和C-F测试分析了不同氢处理时间和本征缓冲层氢稀释度对nc-Si∶H/c-Si界面缺陷态的影响,运用高分辨透射电镜观察了不同的本征缓冲层晶化度的nc-Si∶H/c-Si异质结太阳能电池的界面,优化工艺参数,在p型CZ晶体硅衬底上制备出转换效率为17.27%的n-nc-Si∶H/i-nc-Si∶H/p-c-Si异质结电池.
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| 关 键 词： | 纳米晶硅 异质结 太阳能电池 热丝化学气相沉积(HWCVD) |
| 文章编号： | 0253-4177(2007)01-0096-04 |
| 修稿时间： | 8/13/2006 2:29:23 PM |
High-Efficiency n-nc-Si:H/p-c-Si Heterojunction Solar Cells |
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| Zhang Qunfang,Zhu Meifang,Liu Fengzhen and Zhou Yuqin.High-Efficiency n-nc-Si:H/p-c-Si Heterojunction Solar Cells[J].Chinese Journal of Semiconductors,2007,28(1):96-99. |
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| Authors: | Zhang Qunfang Zhu Meifang Liu Fengzhen and Zhou Yuqin |
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| Affiliation: | College of Physical Sciences, Graduate School of the Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | nano-crystalline silicon heterojunction solar cells HWCVD |
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