| 微/纳尺度接触力学行为有限元数值分析研究 |
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| 引用本文： | 杨晓京康宏文,杨承铭. 微/纳尺度接触力学行为有限元数值分析研究[J]. 机械强度, 2014, 0(1): 61-66 |
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| 作者姓名： | 杨晓京康宏文 杨承铭 |
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| 作者单位： | ;1.昆明理工大学机电工程学院;2.昆明理工大学现代农业工程学院 |
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| 摘 要： | 微/纳尺度接触问题已成为制约微机电系统发展的关键性问题。针对这一问题,以纳米压痕技术为基础,首先分别应用赫兹理论和弹塑性理论分析了不同阶段的接触过程,然后运用有限元分析软件Ansys建立了有限元分析模型,进行了不同载荷下的接触分析,获得了相应的应力和应变分布规律等。然后利用纳米压痕技术进行了实验对比分析。证明了两种研究方式的力学规律一致。从而证明了有限元方法在微/纳尺度接触力学研究方面的可行性。
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| 关 键 词： | 微机电系统 微纳接触 有限元分析 接触力学 纳米压痕技术 |
FINITE ELEMENT ANALYSIS AND SIMULATION OF THE MICRO /NANO-SCALE CONTACT MECHANICS BEHAVIOR |
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