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| GaAs二次离子发射的氧和铯效应 | |
| 引用本文： | 桂东,查良镇.GaAs二次离子发射的氧和铯效应[J].真空科学与技术,1998,18(A12):109-115. |
| 作者姓名： | 桂东 查良镇 |
| 摘 要： | 在二次离子质谱学中，氧和铯效应是影响二次离子发射最重要和复杂的现象。概括地总结了自９０年代以来对ＧａＡｓ二次离子发射氧和铯效应基础研究的主要成果。在准静态条件下，解决了用惰性气体Ａｒ＾＋源注氧研究复杂ＧａＡｓ基体上二次离子发射氧效应的主要困难，得到了表面注氧和覆铯使ＧａＡｓ二次离子产额和能量分布变化的实验规律，用ＴＯＦ－ＳＩＭＳ研究了砷化镓中ＭＣｓ＾＋ ＭＣｓ２＾＋等原子团离子的发射特性，对其发射 |
| 关 键 词： | 砷化镓 二次离子质谱学 氧效应 铯效应 能量 |
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