聚焦离子束系统中微波离子枪的束光学特性研究

通过实验和数值模拟研究聚焦离子束中微波离子枪的离子束光学特性，该离子枪由微波等离子体源和Ｏｒｌｏｆｆ－Ｓｗａｓｏｎ透镜组成。该透镜除了广泛应用于场致发射离子枪外，在等离子体源情况下，也能获得很好的离子束光学性能。