| SnO2纳米颗粒气体传感器在CO2气体检测中的应用 |
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| 引用本文： | 王凌英,丁占来. SnO2纳米颗粒气体传感器在CO2气体检测中的应用[J]. 传感器与微系统, 2007, 26(12): 114-116 |
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| 作者姓名： | 王凌英 丁占来 |
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| 作者单位： | 石家庄铁道学院材料科学与工程分院,河北,石家庄,050043 |
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| 基金项目： | 河北省留学回国人员择优资助项目 |
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| 摘 要： | 将有机金属先驱体[Sn(N(CH3)2)2]2在适当的条件下热解,制备了尺寸分布集中的SnO2纳米颗粒.然后,在气体传感器的多晶硅层上原位沉积纳米颗粒悬浮液得到纳米颗粒多孔薄膜传感层,并探索了SnO2纳米颗粒传感器原位掺杂Mg,K,Ba元素,检测气体传感器在不同CO2体积分数下的敏感性.结果表明:此方法制得的传感器对CO2气体敏感性不佳,尚需进一步研究掺杂元素和掺杂工艺.
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| 关 键 词： | SnO2纳米颗粒 气体传感器 滴液沉积法 CO2气体 敏感性 纳米颗粒 气体传感器 气体检测 应用 gas detection gas sensors nanoparticle 掺杂工艺 掺杂元素 研究 法制 结果 敏感性 体积分数 原位掺杂 传感层 多孔薄膜 悬浮液 原位沉积 多晶硅 |
| 文章编号： | 1000-9787(2007)12-0114-03 |
| 修稿时间： | 2007-04-28 |
Application of SnO2 nanoparticle gas sensors in CO2 gas detection |
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| WANG Ling-ying,DING Zhan-lai. Application of SnO2 nanoparticle gas sensors in CO2 gas detection[J]. Transducer and Microsystem Technology, 2007, 26(12): 114-116 |
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| Authors: | WANG Ling-ying DING Zhan-lai |
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