| SiC膜对ZGO膜耐腐蚀性能的研究 |
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| 引用本文： | 姬杨玲,庄大明,张 弓.SiC膜对ZGO膜耐腐蚀性能的研究[J].中国表面工程,2006,19(2):21-24. |
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| 作者姓名： | 姬杨玲 庄大明 张 弓 |
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| 作者单位： | 清华大学,机械工程系,北京,100084 |
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| 摘 要： | 利用中频磁控溅射方法,采用氧化锌镓ZGO（97.5%ZnO＋2.5%Ga2O3）陶瓷靶材和SiC陶瓷靶材,制备了ZGO和SiC/ZGO复合薄膜.考察了制备SiC膜时的沉积时间、氩气压强、基底温度对其耐腐蚀保护性能的影响,同时考察了SiC薄膜对ZGO薄膜功能特性的影响.试验结果表明,提高溅射气体的压力可以增强SiC膜对ZGO薄膜的耐腐蚀保护作用,提高基底温度对提高SiC/ZGO的耐腐蚀性能的效果显著,SiC薄膜的存在对ZGO的红外反射性能有增强作用.基底温度260℃,沉积SiC膜160 s能对ZGO膜起到防腐保护作用.
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| 关 键 词： | 氧化锌镓薄膜 SiC薄膜 磁控溅射 耐腐蚀性 |
| 文章编号： | 1007-9289（2006）02-0021-04 |
| 收稿时间： | 2006-03-22 |
| 修稿时间： | 2006-03-222006-03-23 |
A Study on the Corrosion Resistance Properties of SiC/ZGO Films to ZGO Film |
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| JI Yang-ling,ZHUANG Da-Ming,ZHANG Gong.A Study on the Corrosion Resistance Properties of SiC/ZGO Films to ZGO Film[J].China Surface Engineering,2006,19(2):21-24. |
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| Authors: | JI Yang-ling ZHUANG Da-Ming ZHANG Gong |
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| Affiliation: | Department of Mechanical Engineering, Tsinghua University, Beijing 100084, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ZGO film SiC film magnetron sputtering corrosion resistance infrared reflection |
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