纺织器材机件的新型修复技术(二) |
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引用本文: | 刘琦云.纺织器材机件的新型修复技术(二)[J].纺织器材,1998,25(4):41-47,13. |
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作者姓名: | 刘琦云 |
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作者单位: | 西北纺织工学院 |
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摘 要: | 4气相沉积技术气相沉积按机理划分,可分为物理气相沉积(PhysicalVapourdisposion)和化学气相沉积(ChemicalVapourdisposion),前者通称PVD,后者通称CVD。4.1PVD法阴极溅射4.1.1阴极溅射的基本原理阴极溅射就是在真空的条件下,用荷能粒子轰击某一靶材(阴极),使靶材表面原子以一定的能量溅出,然后在机件表面沉积的过程,图4-1是阴极溅射系统简图。靶是一平板,由欲沉图4-1阴极溅射系统简囤积的材料组成,将它与电源的负极相联(阴极)。固定装置可以接地、悬空、偏置、加热、冷却。真空槽中充入1.33×10Pa~1.33×10-1Pa的…
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关 键 词: | 纺织器材 修复 气相沉积 纺织机械 离子注入 |
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