| ZnO压电薄膜双面共溅生长技术 |
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| 引用本文： | 郑泽渔,汤劲松,朱昌安,周勇,王宗富.ZnO压电薄膜双面共溅生长技术[J].压电与声光,2010,32(4). |
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| 作者姓名： | 郑泽渔 汤劲松 朱昌安 周勇 王宗富 |
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| 作者单位： | 四川压电与声光技术研究所,重庆,400060 |
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| 摘 要： | 在只有一个靶源的情况下,利用改良的夹具,在钇铝石榴石(YAG)晶体的两端用反应磁控溅射法同时溅射生长ZnO压电薄膜.对ZnO压电薄膜做了X一射线衍射(XRD)分析,测试了用双面方法制作的声体波薄膜换能器的回波损耗.结果表明,采用双面共溅工艺生长ZnO压电薄膜有效地解决了第一端换能器压电性能退化的问题,提高了两端换能器压电性能的一致性,提高了生产效率.
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| 关 键 词： | 氧化锌 压电薄膜 溅射 声体波 |
Technique for Fabricating ZnO Piezoelectric Thin Films on the Two Ends of the YAG Rod Simultaneously by DC Reactive Magnetron Sputtering |
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| ZHENG Zeyu,TANG Jinsong,ZHU Changan,ZHOU Yong,WANG Zongfu.Technique for Fabricating ZnO Piezoelectric Thin Films on the Two Ends of the YAG Rod Simultaneously by DC Reactive Magnetron Sputtering[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2010,32(4). |
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| Authors: | ZHENG Zeyu TANG Jinsong ZHU Changan ZHOU Yong WANG Zongfu |
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