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| 日本开发钨钛合金溅镀靶 | |
| 引用本文： | 吴明.日本开发钨钛合金溅镀靶[J].中国钨业,1991(5). |
| 作者姓名： | 吴明 |
| 摘 要： | <正> 为了生产钨钛合金阴极溅镀靶,日本钨公司研究了几种以粉末冶金为基础的加工方法,并且确认,运用它的工艺过程生产的靶具有高强度、高密度和极好的均匀性。钨钛靶在溅渡过程中不发生断裂或变形,并且能 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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