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杂志ISSN号
日本开发钨钛合金溅镀靶
作者姓名:
吴明
摘 要:
<正> 为了生产钨钛合金阴极溅镀靶,日本钨公司研究了几种以粉末冶金为基础的加工方法,并且确认,运用它的工艺过程生产的靶具有高强度、高密度和极好的均匀性。钨钛靶在溅渡过程中不发生断裂或变形,并且能
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