| 石油勘探MEMS传感器的研究 |
| |
| 引用本文： | 颜永安,牛德芳,孙正鼐.石油勘探MEMS传感器的研究[J].物探装备,2005,15(1):1-5. |
| |
| 作者姓名： | 颜永安 牛德芳 孙正鼐 |
| |
| 作者单位： | 山东省威海市双丰电子集团公司,山东威海,264209 |
| |
| 基金项目： | 863项目中的一个研究课题课题编号:2004AA404210 |
| |
| 摘 要： | 用于信号采集的传感器在石油勘探中是一个很重要的设备。本文主要介绍了一种新的石油勘探MEMS传感器的结构特点、介质材料以及封装方式，并详细地介绍了该产品的主要技术指标。
|
| 关 键 词： | 石油勘探设备 传感器 反射波 灵敏度 电容 信号处理系统 震源 地震波 |
| 修稿时间： | 2005年1月11日 |
Studying MEMS sensor of oil exploration |
| |
| Yan Yong'an,Niu Defang,Sun Zhengnai.Studying MEMS sensor of oil exploration[J].Equipment for Geophysical Prospecting,2005,15(1):1-5. |
| |
| Authors: | Yan Yong'an Niu Defang Sun Zhengnai |
| |
| Abstract: | Sensor used for Signal acquisition is important equipment for oil exploration. The paper mainly introduced a new MEMS sensor of oil exploration,characters of MEMS sensor structure, medium material and sealed form as well as already reached technical indexes. |
| |
| Keywords: | MEMS sensor differential capacitor structure |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
