| 超高纯Al-0.5%Cu合金溅射靶材微观组织与织构的EBSD分析 |
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| 引用本文： | 黄光杰,陈江波,黄天林,邹彬.超高纯Al-0.5%Cu合金溅射靶材微观组织与织构的EBSD分析[J].电子显微学报,2010,29(1):89-92. |
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| 作者姓名： | 黄光杰 陈江波 黄天林 邹彬 |
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| 作者单位： | 重庆大学材料科学与工程学院,重庆,400044 |
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| 摘 要： | 用EBSD技术对超高纯（99.9995%以上）Al-0.5%Cu合金靶材冷轧及退火过程中的微观组织、织构及取向差进行了表征,分析了合金靶材多向冷轧、退火过程中微观组织、织构及取向差等的演变规律。
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| 关 键 词： | EBSD 溅射靶材 织构 再结晶 |
EBSD analysis of microstructure and texture of ultra-high pure Al-0.5%Cu alloy sputtering target |
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| HUANG Guang-jie,CHEN Jiang-bo,HUANG Tian-lin,ZOU Bin.EBSD analysis of microstructure and texture of ultra-high pure Al-0.5%Cu alloy sputtering target[J].Journal of Chinese Electron Microscopy Society,2010,29(1):89-92. |
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| Authors: | HUANG Guang-jie CHEN Jiang-bo HUANG Tian-lin ZOU Bin |
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| Affiliation: | Department of Materials and Engineering;Chongqing University;Chongqing 400044;China |
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| Abstract: | EBSD analysis the microstructure,texture and misorientation distribution of ultra-high pure aluminum sputtering target was investigated by EBSD method. |
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| Keywords: | EBSD sputtering target texture recrystallization |
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