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| 多孔Al2O3湿度传感器的湿敏龟容理论模型 | |
| 引用本文： | 任豪,章佩娴.多孔Al2O3湿度传感器的湿敏龟容理论模型[J].传感器与微系统,1999,18(4):11-14. |
| 作者姓名： | 任豪 章佩娴 |
| 作者单位： | [1]广州市光机电工程研究开发中心 [2]中山大学 |
| 摘 要： | 建立了一种新型的多孔Ａｌ２Ｏ３湿度传感器湿敏电容模型，以电容作为感湿特征量的理论分析变得更加明确直接。该模型理论分析曲线与实际测量曲线吻合说明了其正确性。 |
| 关 键 词： | 湿敏电容模型 湿度传感器 多孔三氧化二铝 |
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