| 双面键合长波长垂直腔面发射激光器的制备与分析 |
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| 引用本文： | 何国荣,渠红伟,郑婉华,陈良惠. 双面键合长波长垂直腔面发射激光器的制备与分析[J]. 红外与激光工程, 2010, 39(4) |
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| 作者姓名： | 何国荣 渠红伟 郑婉华 陈良惠 |
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| 作者单位： | 深圳信息职业技术学院电子通信技术系,广东,深圳,518029;中国科学院半导体研究所光电子中心,北京,100083 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目,信息学院青年自然科学基金项目 |
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| 摘 要： | 研制了双面键合长波长垂直腔面发射激光器(VCSEL),有效克服了传统外延生长方法存在的诸多难题通过对布拉格反射镜、有源区和光学腔的设计,结合键合技术进行工艺设计,于国内首次研制出双面键合长波长VCSEL,并分别采用光泵浦和电泵浦对其进行了测试与分析,测试结果表明结构及工艺设计是合理的,两次键合后的界面可以承受腐蚀、剥离、氧化等后工艺,且键合界面光、电性能良好,未对激光器性质造成明显的不良影响,器件激射波长约为1 273.6 nm,脉冲条件下表现出动态单纵模特性,在仪器测试范围内,20 μm尺寸的器件常温连续工作条件下的最大输出功率为0.16 mW.但P-I曲线的扭折说明器件仍旧存在着较大的热、电阻,需在后续的材料生长及键合技术中进一步优化.
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| 关 键 词： | 垂直腔面发射激光器(VCSEL) 键合 布拉格反射镜(DBR) |
Fabrication and analysis of double bonded long wavelength vertical cavity surface emitting laser |
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| HE Guo-rong,QU Hong-wei,ZHENG Wan-hua,CHEN Liang-hui. Fabrication and analysis of double bonded long wavelength vertical cavity surface emitting laser[J]. Infrared and Laser Engineering, 2010, 39(4) |
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| Authors: | HE Guo-rong QU Hong-wei ZHENG Wan-hua CHEN Liang-hui |
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