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| 大刚度超精密1:1扫描投影光刻机气浮工件台 | |
| 作者姓名： | 梁万兆 朴哲秀 徐宏 崔长植 |
| 作者单位： | 中国科学院长春光机所，中国科学院长春光机所，中国科学院长春光机所，中国科学院长春光机所 |
| 摘 要： | 扫描投影光刻机主要由光学系统与工件台系统等组成.目前工件台所用的导轨主要有滑动导轨、滚珠导轨、液压导轨、气浮导轨等,其中以气浮导轨运动精度为最佳.精密气浮工件台是扫描投影光刻机的重要组成部分,工件台与扫描架联接在一起,直接影响扫描精度,而扫描精度又直接影响光刻机的分辨本领与套准精度.为了研制能刻划1.5μm |
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