| 原子力显微镜针尖同接触面的纳米压痕粘着力 |
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| 引用本文： | 田文超,贾建援. 原子力显微镜针尖同接触面的纳米压痕粘着力[J]. 半导体学报, 2003, 24(z1): 70-73 |
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| 作者姓名： | 田文超 贾建援 |
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| 作者单位： | 西安电子科技大学机电工程学院,西安,710071 |
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| 基金项目： | 陕西省自然科学基金;99X05; |
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| 摘 要： | 建立了原子力显微镜(AFM)针尖同接触面的纳米压痕物理模型;根据Hamaker三个假设和Lennard-Jones 势理论,利用连续方法推导出针尖同接触面的纳米压痕粘着力表达式.针对Hamaker常数实验值受环境影响较大,给Hamaker常数的具体应用产生困难的问题,从Lifshitz理论,得出Hamaker常数的近似表达式,并计算了Au、Cu、Al、Ag、Hg的Hamaker常数.计算结果同有关文献的实验结果符合,从而为微机械中广泛存在的纳米接触、"微碰"现象研究提供理论基础.
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| 关 键 词： | Hamaker假设 Lennard-Jones势函数 原子力显微镜(AFM) Hamaker常数 粘着力 |
| 文章编号： | 0253-4177(2003)0-0070-04 |
| 修稿时间： | 2002-09-16 |
Adhesive Force on Nanoindentation Between Tip of Atomic Force Microscopy and Sample Surface |
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