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微机械惯性平台技术研究
引用本文:石云波,刘俊,张文栋. 微机械惯性平台技术研究[J]. 测试技术学报, 2002, 16(Z2): 1009-1012
作者姓名:石云波  刘俊  张文栋
作者单位:1. 华北工学院电子工程系,030051
2. 华北工学院电子工程系,030051;北京大学微电子研究所,100087
基金项目:本论文受国家教育部高等学校全国优秀博士学位论文作者专项资助,资助号:200228
摘    要:本文介绍了微机械惯性平台的工作原理,讨论了微机械惯性平台的主要部件(微机械陀螺仪和微机械加速度计)的设计,并介绍了其使用前景.

关 键 词:微机械惯性平台  陀螺仪  加速度计
修稿时间:2002-03-23

Study On Micromachined Inertial Platform Technology
Yunbo Shi,Jun Liu,Wendong Zhang. Study On Micromachined Inertial Platform Technology[J]. Journal of Test and Measurement Techol, 2002, 16(Z2): 1009-1012
Authors:Yunbo Shi  Jun Liu  Wendong Zhang
Abstract:
Keywords:
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