|
|||||
|
|
| Ti—Ta吸气丝的SIMS分析 | |
| 引用本文： | 邓金祥,余镇江.Ti—Ta吸气丝的SIMS分析[J].光电子技术,1991,11(1):35-37. |
| 作者姓名： | 邓金祥 余镇江 |
| 作者单位： | 中国科学院电子学研究所，中国科学院电子学研究所，中国科学院电子学研究所，兰州物理研究所，兰州物理研究所，兰州物理研究所 |
| 摘 要： | 本文给出两种Ti-Ta吸气丝的SIMS分析,比较其结果,对其吸气性能的差异予以讨论,指出其中一种Ti-Ta吸气丝吸气性能差的原因。 |
| 关 键 词： | Ti－Ta 吸气剂 吸气材料 SIMS分析 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |