| 静电力驱动的液滴数字传输芯片 |
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| 引用本文： | 皋华敏,李铁,许磊,刘翔,王翊,周萍,王跃林. 静电力驱动的液滴数字传输芯片[J]. 功能材料与器件学报, 2010, 16(2) |
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| 作者姓名： | 皋华敏 李铁 许磊 刘翔 王翊 周萍 王跃林 |
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| 作者单位： | 传感技术联合国家重点实验室,微系统技术国家实验室,中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050;传感技术联合国家重点实验室,微系统技术国家实验室,中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050;传感技术联合国家重点实验室,微系统技术国家实验室,中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050;传感技术联合国家重点实验室,微系统技术国家实验室,中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050;传感技术联合国家重点实验室,微系统技术国家实验室,中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050;传感技术联合国家重点实验室,微系统技术国家实验室,中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050;传感技术联合国家重点实验室,微系统技术国家实验室,中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050 |
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| 基金项目： | 本研究得到国家973项目,国家高技术研究发展计划(863计划),国家自然科学基金委创新团队 |
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| 摘 要： | 设计制作了一种基于静电力驱动的数字微流芯片。通过优化芯片的结构,采用硅为衬底,TiW/Au为微电极阵列,较薄的氮化硅和碳氟聚合物为介质层和疏水膜层,驱动电压大为降低。目前已成功实现了在30V的驱动电压下,对去离子水液滴的两维驱动,液滴移动速度可达96mm/s,同时也实现了对0.9%质量浓度NaCl溶液液滴的驱动。分析结果验证了液滴是在静电力的作用下实现移动。
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| 关 键 词： | 数字微流芯片 静电力 液滴 |
Droplets digitial-transporting chip driven by Electrostatic force |
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| GAO Hua-min,LI Tie,XU Lei,LIU Xiang,WANG Yi,ZHOU Ping,WANG Yue-lin. Droplets digitial-transporting chip driven by Electrostatic force[J]. Journal of Functional Materials and Devices, 2010, 16(2) |
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| Authors: | GAO Hua-min LI Tie XU Lei LIU Xiang WANG Yi ZHOU Ping WANG Yue-lin |
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| Abstract: | In this paper,an electrostatic force based digital microfluidic chip was designed and fabricated.Optimization of the chip structure by employing silicon wafer substrate,TiW/Au electrodes,thin silicon nitride dielectric layer and fluorocarbon polymer hydrophobic layer decreases the driving voltage dramatically.Deionized water droplets were successfully transported in two-dimension on this chip under only 30V with transported velocity of 96mm/s.0.9%of sodium chloride mass fraction solution droplets were also successfully transported on this chip.Further investigation confirmed that electrostatic force is the driving force of the droplets. |
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| Keywords: | digital microfluidic chip electrostatic force droplet |
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