| 微机械陀螺ASIC接口电路设计 |
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| 引用本文： | 刘晓为,莫 冰,王 超,谭晓昀,许晓巍,齐向昆.微机械陀螺ASIC接口电路设计[J].传感技术学报,2006,19(5):2240-2244. |
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| 作者姓名： | 刘晓为 莫 冰 王 超 谭晓昀 许晓巍 齐向昆 |
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| 作者单位： | 哈尔滨工业大学MEMS中心,哈尔滨,150001 |
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| 摘 要： | 在分析微机械陀螺接口电路工作原理的基础上,采用中电集团第24研究所的3μm10 V P-well标准模拟CMOS工艺设计并制作了微机械陀螺ASIC接口电路.电路HSPICE仿真灵敏度为0.252 mV/aF.芯片面积为5.5 mm×4.4 mm,在此工艺流片并进行了芯片测试.结果表明,在10 V电源电压下,其功耗为49.3 mW,输出摆幅为4.85±3.1 V,输出节点的零点偏离为0.15 V.此芯片具有微陀螺驱动及信号检测功能,可实现与微陀螺敏感结构的双片集成.
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| 关 键 词： | CMOS 微机械陀螺 ASIC |
| 文章编号： | 1004-1699(2006)05-2240-05 |
| 修稿时间： | 2006年7月1日 |
Design of the Micromachined Gyroscope Interface ASIC |
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| LIU Xiaowei,MO Bing,WANG Chao,TAN Xiaoyun,XU Xiaowei,QI Xiangkun.Design of the Micromachined Gyroscope Interface ASIC[J].Journal of Transduction Technology,2006,19(5):2240-2244. |
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| Authors: | LIU Xiaowei MO Bing WANG Chao TAN Xiaoyun XU Xiaowei QI Xiangkun |
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| Affiliation: | MEMS Center, Harbin Institute of Technology, Harbin 150001, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | CMOS ASIC |
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