类金铡石薄膜内应力的测试 |
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引用本文: | 陈建国,程宇航.类金铡石薄膜内应力的测试[J].理化检验(物理分册),1998,34(2):27-28,21. |
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作者姓名: | 陈建国 程宇航 |
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摘 要: | 采用射频-直流等离子增强化学气相沉积法制备出类金刚石薄膜,用弯曲法测定薄膜的内应力。类金刚石薄膜中存在1-4.7GPa的压应力,沉积工艺对薄膜的内应力有很大影响,薄膜的内应力随极板负偏压的升高而降低,随C2H2气体一的增加而增大。
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关 键 词: | 类金刚石薄膜 内应力 薄膜 测量 PACVD |
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