产品介绍期刊界 All Journals 搜尽天下杂志传播学术成果专业期刊搜索期刊信息化学术搜索

产品介绍

摘要：	光学式微小线宽测量装置这是一种测量由光致抗蚀剂制成的半导体微细图形线宽的装置。其特点:(1)采用由自己研制的氙灯做成的共焦光学系统;(2)利用配置针孔较为理想的双盘,可同时得到100点、120点以上的共焦点,能实现40枚/小时以上的(8英寸晶片
本文献已被 CNKI 等数据库收录！