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NaCl元件保护膜制备工艺
作者姓名:邢作清  耿庆芬
摘    要:本文给出采用As2S3薄膜材料征NaCl晶体表面上镀制保护膜及用交替的As2S3和BaF2(或SrF2)在NaCl基底上制备10.6微米分束板的技术。实验证明,As2S3对NaCl具有极好的保护性能,在50%的相对湿度下,仔细使用,可达半年之久而NaCl表面无发毛现象。在连续的100瓦级CO2激光器的辐射强度照射下(采用风冷却基底),膜层无损坏。

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