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热氮化对SiO_2/Si界面辐照加固强度的影响
摘    要:热氮化对SiO_2/Si界面辐照加固强度的影响=Effectsofthermalnitridationontheradia-tionhardnessoftheSiO_2/Siinterface[刊.英]/de-castro,A.J.…∥J.Appl....

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