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| EH系列水性石英晶体研磨液 | |
| 引用本文： | 周国英,赵小甫.EH系列水性石英晶体研磨液[J].上海微电子技术和应用,1997(4):26-28. |
| 作者姓名： | 周国英 赵小甫 |
| 摘 要： | 本文介绍了两种国内最新研制成功的水性石项晶体研磨液，ＥＨ－０５型可用着普通自来水稀释３０倍使用于３Ｂ，４Ｂ，６Ｂ型研磨机。ＥＨ－２０型可悬浮Ｗ１４－Ｗ４０号大粒径磨料，完全替代ＰＣ油。用于６Ｂ，９Ｂ型研磨机，使用时可加普通自来水一倍稀释。０ |
| 关 键 词： | 石英晶体 研磨液 EH系列石英晶体 |
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