| Cr离子高温注入Al靶的传质模型 |
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| 引用本文： | 常海威,陈涛,雷明凯.Cr离子高温注入Al靶的传质模型[J].金属学报,2004,40(6):629-633. |
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| 作者姓名： | 常海威 陈涛 雷明凯 |
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| 作者单位： | 大连理工大学材料工程系,大连,116024 |
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| 基金项目： | 高等学校优秀青年教师教学和科研奖励计划项目 |
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| 摘 要： | 利用注入离子在固体中传输理论和辐照增强扩散理论建立了金属离子高温注入金属Al靶的传质模型,计算了金属离子高温注入的浓度-深度分布.在所建立的传质模型中采用动态Monte Carlo方法模拟离子注入过程,引入饱和浓度限模拟晶体靶局部饱和现象;采用基于辐照增强扩散的扩散方程描述注入粒子扩散过程;根据缺陷线性退火理论确定辐照增强扩散系数;结合杂质原子和非平衡空位扩散方程给出了注入粒子的浓度分布;在扩散方程中引入了空位源函数并考虑了离子溅射造成的表面退让效应.针对离子能量140keV,注入剂量2×10~(17)cm~(-2),温度250,400和510℃的Cr离子注入Al靶计算得到的浓度-深度分布与实验结果相符.
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| 关 键 词： | 高温离子注入 Monte Carlo模拟 扩散 |
| 文章编号： | 0412-1961(2004)06-0629-05 |
| 修稿时间： | 2003年7月1日 |
MASS TRANSFER MODELLING OF Cr ION IMPLANTATION INTO A1 TARGET AT ELEVATED TEMPERATURE |
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| CHANG Haiwei,CHEN Tao,LEI Mingkai.MASS TRANSFER MODELLING OF Cr ION IMPLANTATION INTO A1 TARGET AT ELEVATED TEMPERATURE[J].Acta Metallurgica Sinica,2004,40(6):629-633. |
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| Authors: | CHANG Haiwei CHEN Tao LEI Mingkai |
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| Affiliation: | CHANG Haiwei,CHEN Tao,LEI Mingkai Department of Materials Engineering,Dalian University of Technology,Dalian 116024 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ion implantation at high temperature Monte Carlo method thermal diffusion |
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