铝合金表面磁控溅射Al-Al_2O_3复合涂层的结构及耐腐蚀性能

用Al和Al_2O_3双靶磁控共溅射工艺在抛光铝合金衬底上制备了Al-Al_2O_3复合涂层,同时制备纯Al涂层作对比。利用X射线衍射仪和场发射扫描电镜研究了Al-Al_2O_3复合涂层的微观结构和形貌,通过划痕实验和电化学腐蚀实验对复合涂层的膜基结合力和耐腐蚀性能进行了测试。结果表明,Al-Al_2O_3复合涂层呈较强的Al(111)择优取向,Al_2O_3相以非晶形式存在。直流功率PDC恒定时,射频功率PRF增大,复合涂层中Al相晶粒更加细化,涂层的平整度和致密度明显提高。Al-Al_2O_3复合涂层与铝合金衬底的结合力良好,可达到43 N。相比纯Al涂层,Al-Al_2O_3复合涂层具有优异的耐腐蚀性,其中PRF=150 W的复合涂层的耐腐蚀性能最佳,腐蚀电流密度为0.0016 m A/cm~2,该值相比纯Al涂层降低了一个量级。