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| SPM三维纳米级微定位的研究 | |
| 引用本文： | 范细秋.SPM三维纳米级微定位的研究[J].机械工程师,1999(3):44-46. |
| 作者姓名： | 范细秋 |
| 作者单位： | [1]南阳理工学院 [2]华中理工大学 |
| 摘 要： | 介绍了一种三维纳米级微定位系统。该系统可用于各种扫描探针显微镜（ＳＰＭ）探针和样品的微定位，探针可在样品表面１０ｍｍ×１０ｍｍ区域内定位，重复定位精度小于１００ｎｍ，在高度方向，探针可 顺利地进入样品表面１０ｎｍ区域内。 |
| 关 键 词： | 扫描探针显微镜 三维 微定位 纳米级 |
| 修稿时间： | 1998.11.16 |
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