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| 类金刚石碳膜的热稳定性 | |
| 引用本文： | 夏立芳,李光,马南. 类金刚石碳膜的热稳定性[J]. 材料科学与工艺, 2000, 8(4): 80-85 |
| 作者姓名： | 夏立芳 李光 马南 |
| 作者单位： | 1. 哈尔滨工业大学材料科学与工程学院，黑龙江哈尔滨 150001 2. 双太电子实业有限公司，黑龙江哈尔滨 150020 |
| 摘 要： | 总结了各种ＤＬＣ膜的热稳定性及分析手段，概述了加热退火情况下ＤＬＣ膜结构，内应力的变化，评述了国内的最新研究进展，并提出了有等进一步研究的问题。 |
| 关 键 词： | 类金刚石碳膜 热稳定性 退火 膜结构 内应力 |
| 文章编号： | 1005-0299(2000)04-0080-06 |
| 修稿时间： | 2000-06-08 |
Thermal stability of diamond-like carbon films |
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