| 双π型RF EMIF的一种薄膜集成制造方法 |
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| 引用本文： | 张海鹏,秦会斌,徐振宇,梁海珊.双π型RF EMIF的一种薄膜集成制造方法[J].半导体技术,2004,29(2):31-34. |
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| 作者姓名： | 张海鹏 秦会斌 徐振宇 梁海珊 |
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| 作者单位： | 杭州电子工业学院电子信息学院CAE研究所,浙江,杭州,310037;杭州电子工业学院电子信息学院CAE研究所,浙江,杭州,310037;杭州电子工业学院电子信息学院CAE研究所,浙江,杭州,310037;杭州电子工业学院电子信息学院CAE研究所,浙江,杭州,310037 |
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| 摘 要： | 基于双兀型电磁干扰滤波器(EMIF)的电路结构,借鉴了集成电路超微细加工技术,提出了与等平面超大规模集成电路工艺完全兼容的双兀型EMIF电路的薄膜集成制造方法.该方法可用于制作满足未来电子系统的高频化、小型化、轻型化和片式化信号处理EMIF电路的应用需求,改善双兀型EMIF电路的信号处理性能,还可将其与VLSI一起片上集成.
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| 关 键 词： | 超大规模集成电路 超微细加工技术 电磁干扰滤波器 薄膜集成制造方法 |
| 文章编号： | 1003-353(2004)02-0031-04 |
| 修稿时间： | 2003年3月12日 |
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