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| 多元半导器件的工艺方案 | |
| 引用本文： | 许生龙,舒泽.多元半导器件的工艺方案[J].上海微电子技术和应用,1995(2):24-33. |
| 作者姓名： | 许生龙 舒泽 |
| 摘 要： | 本文介绍了采用倒扣法来制作光导器件芯片的工艺方案。该方案具有工艺简单、成品率高、重复性好、光敏面的几何尺寸变化小，电阻值均匀等优点。 |
| 关 键 词： | 多元 光导器件 工艺 碲 镉 汞 芯片 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
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