高速集成电路中高温超导连线技术研究

本文研究了ＹＢＣＯ高温超导薄膜中原位溅射法生长优质膜的成膜技术，ＹＢＣＯ薄膜的Ｔｃｏ为９０Ｋ，Ｊｃｏ（７７Ｋ）为１０＾６Ａ／ｃｍ＾２；并建立了直流磁控溅射淀积速率的模型，还研究了微细加工形成超导薄膜导线的薄膜成形技术，在ＥＤＴＡ腐蚀法中，Ｔｃｏ仅下降１Ｋ，对超导特性影响下，本文着重研究了超导导线与高速集成电路的连续工艺，研制成功用高温超导连线的ＨＣＭＯＳ集成电路。