亚微米BiCMOS工艺技术 |
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引用本文: | 何小乐,洛斯.亚微米BiCMOS工艺技术[J].上海微电子技术和应用,1995(2):54-56,62. |
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作者姓名: | 何小乐 洛斯 |
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摘 要: | BiCMOS是双极速度和驱动能力与CMOS的高密度和低功耗的结合。考虑到功耗原因,BiCMOS器件主要以CMOS为主,因此,双极器件通常并入CMOS核心工艺流程。当器件尺寸减小时,双极和CMOS的技术显得愈发相似。本文列举了0.8μm和0.5μm的技术论点。BiCOS电路与CMOS相比,成本稍高但其性能提高一倍。
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关 键 词: | 亚微米 铋 CMOS 工艺技术 双极晶体管 |
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