|
|||||
|
|
| 纳米晶Ti-Si-N超硬复合涂层的研究进展 | |
| 引用本文： | 沈保罗,王均,张铁邦,高见,冯浩,黄四九.纳米晶Ti-Si-N超硬复合涂层的研究进展[J].粉末冶金技术,2005,23(5):383-387. |
| 作者姓名： | 沈保罗 王均 张铁邦 高见 冯浩 黄四九 |
| 作者单位： | 1. 四川大学材料科学与工程学院,成都,610064 2. 成都工具研究所,成都,610051 3. 双流四九稀土合金铸造厂,成都,610211 |
| 摘 要： | 本文对纳米晶Ti—Si—N超硬涂层材料国内外研究进展进行了系统的回顾，着重分析了制备方法（等离子增强化学气相沉积，等离子辅助化学气相沉积，直流磁控溅射和射频磁控溅射等）、工艺参数（沉积温度，进气比）和硅含量对Ti-Si-N微观结构、硬度、抗氧化性、耐腐蚀性和耐磨性的影响。在合适的工艺条件下，能获得硬度最高的纳米TiN晶体镶嵌在非晶态的Si3N4基体上的复合涂层（nc—TiN／a—Si3N4）。该涂层有良好的性能并将得到广泛的应用。 |
| 关 键 词： | 化学气相沉积 物理气相沉积 涂层 微观结构 性能 |
| 收稿时间： | 2004-04-09 |
| 修稿时间： | 2004年4月9日 |
Development of the nanocrystalline superhard Ti-Si-N coating |
|
| Shen Baoluo,Wang Jun,Zhang Tiebang,Gao Jian,Feng Hao,Haung Sijiu.Development of the nanocrystalline superhard Ti-Si-N coating[J].Powder Metallurgy Technology,2005,23(5):383-387. | |
| Authors: | Shen Baoluo Wang Jun Zhang Tiebang Gao Jian Feng Hao Haung Sijiu |
| Abstract: | |
| Keywords: | Ti-Si-N |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ | |