| 程控式真空规校准装置 |
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| 引用本文： | 李得天,李正海. 程控式真空规校准装置[J]. 真空与低温, 1997, 3(3): 159-165 |
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| 作者姓名： | 李得天 李正海 |
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| 作者单位： | 兰州物理研究所 |
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| 摘 要： | 程控式真空规校准装置主要用于日常对工作用真空规的校准。它采用动态直接比对法、静态膨胀法和静态直接比对法等三种方法可以对１×１０５～５×１０－４Ｐａ范围内的真空规进行校准。采用可编程控制器对校准全过程实行自动控制，并具有保护、报警、语音提示等功能，提高了工作效率和安全可靠性，避免了由于误操作或真空系统故障造成的经济损失。
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| 关 键 词： | 真空规 校准 自动控制 |
AN APPARATUS CONTROLLED BY COMPUTER FOR VACUUM GAUGE CALIBRATION |
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| Li Detian Li Zhenghai Meng Yang Zhang Dixin Wen Xinhui Li Li. AN APPARATUS CONTROLLED BY COMPUTER FOR VACUUM GAUGE CALIBRATION[J]. Vacuum and Cryogenics, 1997, 3(3): 159-165 |
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| Authors: | Li Detian Li Zhenghai Meng Yang Zhang Dixin Wen Xinhui Li Li |
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| Keywords: | Vacuum gauge Calibration Automatic control. |
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