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| 《电子工业用气体 氯化氢》国家标准简介 | |
| 作者姓名： | 王希光 李景兴 |
| 作者单位： | 化工部光明化工研究所 |
| 摘 要： | 《电子工业用气体 氯化氢》国家标准，已经国家技术监督局批准发布，自１９９４年７月１日起实施，标准编号为ＧＢ／Ｔ１４６０２─９３。本标准各项技术指标等同采用了（美国）半导体设备和材料学会（ＳＥＭＩ）标准Ｃ３ＳＴＤ．３—８８《钢瓶装氯化氢（ＨＣＩ）。一本标准由化工部光明化工研究所负责起草，北京氧气厂、洛阳单晶硅厂参加起草，化工部西南化工研究院技术归口。氯化氢主要用于电子工业，在集成电路生产中用于蚀刻、钝化、外延等工艺，也可用于金属冶炼，光导通讯及科学研究等领域。１ 指术指标的确定本标准各项技术指标达… |
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