| TiC/DLC多层膜的制备及组织形态 |
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| 引用本文： | 肖晓玲,张馨,李福球,侯惠君,林松盛.TiC/DLC多层膜的制备及组织形态[J].真空科学与技术学报,2010,30(6). |
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| 作者姓名： | 肖晓玲 张馨 李福球 侯惠君 林松盛 |
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| 基金项目： | 广东省自然科学基金资助项目 |
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| 摘 要： | 本文采用非平衡磁控溅射沉积技术,以甲烷气体为碳源,99.99%Ti为靶材制备了TiC/DLC多层膜。利用X射线衍射仪、电子显微镜、俄歇电子能谱仪和拉曼光谱仪等对TiC/DLC多层膜的组织、结构、形态及成分进行了分析。结果表明:Ti与C结合生成TiC晶相,过渡层中TiC相呈柱状晶生长,多层膜中的TiC分层以岛状模式生长,DLC分层以层状模式生长,TiC/DLC膜层中含有金刚石成分。TiC/DLC的多层结构受沉积参数的影响,当分层的沉积时间少于1 min时,很难获得清晰的层状结构薄膜,膜中Ti的含量随Ti靶电流的增加而增加;过渡层的引入,提高了膜与基体的结合力,并且过渡层的厚度增加,TiC/DLC膜层同基体之间的结合力增强。
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| 关 键 词： | TiC/DLC多层膜 非平衡磁控溅射 组织及性能 |
Microstructures of Titanium Carbide/Diamond-Like Carbon Multilayered Films |
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| Xiao Xiaoling,Zhang Xin,Li Fuqiu,Hou Huijun,Lin Songsheng.Microstructures of Titanium Carbide/Diamond-Like Carbon Multilayered Films[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2010,30(6). |
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| Authors: | Xiao Xiaoling Zhang Xin Li Fuqiu Hou Huijun Lin Songsheng |
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