渗钒层的XRD结构深度分布分析

用掠角Ｘ射线衍射并结合电子探针及透射电子显微镜，研究了渗钒层不同深度的结构信息，发现渗钒层由表及里晶粒由细逐渐变粗，并证实了应用传统的Ｘ射线衍射方法产生的ａ－Ｆｅ的峰是来自衬底的干扰，此外渗钒层存在部分择优取向。